[发明专利]一种太阳能电池片去背结及抛光方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池片去背结及抛光方法，可以去除电池片扩散掺杂过程中产生的PSG层和背面p‑n结，同时达到背面抛光的目的。本发明的突出优点是1)去PSG层时，采用单一的HF，污水成分单一便于回收处理，有利于环境保护；2)采用有机碱TMAH进行去背结抛光处理，在电池片表面不会引入金属离子；3)与传统“水上漂”工艺相比，将PECVD氮化硅镀膜工艺安排去PSG层和去背结及抛光工艺之间，HF和TMAH处理都是采用全浸泡的方式，工艺简单，对设备要求低。

主权项

一种太阳能电池片去背结及抛光方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：步骤1：去PSG层，将经过扩散掺杂的电池片，浸泡在HF溶液中，去除扩散掺杂过程中产生的PSG；步骤2：清洗，将上述电池片，用纯化水清洗去除电池片残留的HF；步骤3：PECVD氮化硅镀膜，将上述电池片，进行PECVD氮化硅镀膜工艺处理，在电池片正面制备一层氮化硅薄膜；步骤4：去背结及抛光，将上述电池片，浸泡在四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液中，去除背面p‑n结并抛光；步骤5：清洗，将上述电池片，用纯化水清洗去除电池片片上残留的TMAH碱液；步骤6：风干，将上述电池片，采用热风风刀将上述电池片吹干。