[发明专利]一种太阳能电池片去背结及抛光方法有效
| 申请号： | 201710852456.4 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN107768481A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 徐永洋;段少雷;彭军 | 申请（专利权）人： | 绿华能源科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙)33266 | 代理人： | 沈相权,薛纪表 |
| 地址： | 311201 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 片去背结 抛光 方法 | ||
1.一种太阳能电池片去背结及抛光方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：
步骤1：去PSG层，将经过扩散掺杂的电池片，浸泡在HF溶液中，去除扩散掺杂过程中产生的PSG；
步骤2：清洗，将上述电池片，用纯化水清洗去除电池片残留的HF；
步骤3：PECVD氮化硅镀膜，将上述电池片，进行PECVD氮化硅镀膜工艺处理，在电池片正面制备一层氮化硅薄膜；
步骤4：去背结及抛光，将上述电池片，浸泡在四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液中，去除背面p-n结并抛光；
步骤5：清洗，将上述电池片，用纯化水清洗去除电池片片上残留的TMAH碱液；
步骤6：风干，将上述电池片，采用热风风刀将上述电池片吹干。
2.根据权利要求1中所述，其特征在于步骤1所述HF溶液的质量浓度为5％～10％，浸泡时间为150s～300s，反应温度为室温。
3.根据权利要求1中所述，其特征在于步骤2所述的纯化水清洗方式为，先采用溢流清洗，快速除去电池片上残留的HF，随后采用慢提拉的方式进行漂洗，进一步去除电池片上残留的杂质。
4.根据权利要求1中所述，其特征在于步骤4中所述TMAH碱液的质量浓度为25％～28％，浸泡时间为90s～120s，处理温度为60℃～80℃。
5.根据权利要求1中所述，其特征在步骤5所述的纯化水清洗方式为，先采用溢流清洗，快速除去电池片上残留的TMAH，随后采用慢提拉的方式进行漂洗，进一步去除电池片上残留的杂质。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
