[发明专利]低碳、无油蒸发镀膜设备在审
| 申请号： | 201710839908.5 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107400857A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 储琦 | 申请（专利权）人： | 储琦 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所44221 | 代理人： | 王启胜 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵组成的抽气机组，取代传统扩散泵+罗茨泵组成的抽气机组，具有大幅度节省抽气能耗、缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点，从而获得无油真空，显著提高镀膜产品的质量和产能、降低能耗和生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有立式复合径流泵机组，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。
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