[发明专利]低碳、无油蒸发镀膜设备

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其涉及一种低碳、无油蒸发镀膜设备。

背景技术

传统的大型蒸发镀膜设备（简称镀膜设备），普遍采用大型扩散泵+罗茨泵机组抽气，存在如下缺点：

1．能耗高。扩散泵和罗茨泵都是高能耗泵。加上镀膜过程中，真正需要高真空的时段仅几十秒钟，不到镀膜周期的1/20，然而，扩散泵启动时间长（约60 min），无法中断运行，因此，抽气利用率不到5%，存在极大的浪费。

2．油蒸汽污染严重。扩散泵和罗茨泵都是有油泵，油蒸汽污染大，其中，高真空扩散泵利用油蒸汽喷射流抽气，油蒸汽污染更加严重，影响镀膜产品的质量。

3．扩散泵机组抽气时间长，通常达30分钟，影响设备产能的提高。

4．近年来，部分镀膜设备采用POLYCOLD（一种快速制冷、制热循环的低温（-150℃）水汽泵制冷装置辅助扩散泵抽气，抽气时间有所缩短，油蒸汽污染也有下降，然而，设备费用和能耗成倍增加，而且，油蒸汽污染的源头依旧存在，无法消除，未能推广应用。

5. 专利（201310242244.6）曾提供一种采用牵引分子泵+化学吸附泵机组取代扩散泵机组的新技术，取得了节省能耗30%的较好效果，然而，该专利所述的牵引分子泵存在体积大、占地空间多等缺点，也未能推广应用。

上述缺点是当今蒸发镀膜行业亟待解决，但一直未能攻克的难题。

发明内容

本发明的目的在于采用一种体积更小、重量更轻、抽气效率更高的低碳、无油蒸发镀膜设备。

本发明是这样实现的，一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有立式复合径流泵机组，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。

具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

本发明还提供了另一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有立式复合径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述立式复合径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。

具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。

本发明还提供了另一种低碳、无油蒸发镀膜设备，包括镀膜室，所述镀膜室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、立式复合径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述镀膜室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述镀膜室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述镀膜室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述镀膜室和立式复合径流泵机组之间设有第四真空阀，所述立式复合径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述立式复合径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。

具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。