[发明专利]一种提高冷阴极封装器件高压工作稳定性的排气方法

摘要

本发明公开了一种提高真空封装的冷阴极器件在高压下工作稳定性的排气方法，所述排气方法利用某些特定气体的高绝缘特性，在冷阴极真空器件排气过程中，通过引入高绝缘气体，减少易电离气体成分和形成阻隔易电离气体分子的电通路，对冷阴极进行老化和激活处理，提高冷阴极器件在高电压下工作的稳定性。本发明技术实现方法简单，在需要高压条件工作的冷阴极真空器件上，如冷阴极显示器、X射线源、微波器件等，有重要的应用前景。本发明还进一步公开了实施所述排气方法的高真空排气系统。

主权项

1.一种提高真空封装的冷阴极器件在高压下工作稳定性的排气方法，通过安装在已封装冷阴极真空器件上的排气管，将已封装冷阴极真空器件接入高真空排气系统，将高真空排气系统抽至高真空状态并烘烤冷阴极真空器件，用真空计监控与冷阴极真空器件连通的高真空排气装置的真空腔体的真空度，其特征在于还包括以下步骤：（1）当真空腔体的真空度达到预设高值时，关闭连接真空腔体的抽真空阀门，充入绝缘性气体，至真空腔体真空度达预设低值，停止通气并保持设定时间，所述绝缘性气体充入气压为0~230Psi，充入气体流量0~10000sccm；（2）打开抽气阀门，将真空腔体真空度抽至预设高值；（3）重复步骤（1）及步骤（2），反复循环一次以上；（4）在上述排气过程中，当真空腔体的真空度达到预设高值时先对冷阴极真空器件进行动态高压驱动以对冷阴极进行老化和激活处理，然后再充入绝缘性气体；待真空腔体的真空度抽至冷阴极真空器件封装所需的真空度，融封封离排气管完成冷阴极真空器件的真空封装。