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[发明专利]一种空间电子激发的反射式深紫外光源-CN202011493581.9有效
发明人：沈岩;邓少芝;邢阳;柯彦淋;陈军 -专利权人：中山大学
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01J61/06 文献下载
摘要：本发明提供一种空间电子激发的反射式深紫外光源，包括具有导电特性的阴极基板、隔离体、具有导电特性的阳极基板、外壳、两条电极线、石英玻璃；阴极基板设有抛物面结构，抛物面结构的底部开设有通孔，且抛物面结构上设有冷阴极结构；阳极基板上设有位置可调节的超宽禁带半导体；阴极基板与阳极基板相向设置，并通过隔离体隔开形成真空间隙结构；阴极基板、隔离体、阳极基板形成一个整体置于外壳中；外壳设有开口，开口内镶嵌石英玻璃形成石英出光口；超宽禁带半导体、通孔、石英出光口处于同一水平线上；所述外壳真空封装；阴极基板、阳极基板通过电极线连接脉冲驱动电路。本发明能有效地提升外量子效率，产生高效的深紫外发光。
一种空间电子激发反射深紫光源

[发明专利]一种提高冷阴极封装器件高压工作稳定性的排气方法-CN201710839735.7有效
发明人： 柯彦淋;陈军;许宁生;邓少芝 -专利权人：中山大学
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01J9/385 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高真空封装的冷阴极器件在高压下工作稳定性的排气方法，所述排气方法利用某些特定气体的高绝缘特性，在冷阴极真空器件排气过程中，通过引入高绝缘气体，减少易电离气体成分和形成阻隔易电离气体分子的电通路，对冷阴极进行老化和激活处理，提高冷阴极器件在高电压下工作的稳定性。本发明技术实现方法简单，在需要高压条件工作的冷阴极真空器件上，如冷阴极显示器、X射线源、微波器件等，有重要的应用前景。本发明还进一步公开了实施所述排气方法的高真空排气系统。
一种提高阴极封装器件高压工作稳定性排气方法