[发明专利]膜厚传感器有效
| 申请号： | 201710831065.4 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107794509B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 伊藤敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗热冲击特性优异的膜厚传感器。本发明的一个实施方式的膜厚传感器具有石英振子。上述石英振子由表面粗糙度(Ra)为0.4μm以下、并且切割水平50％的载荷长度比率(tp)为95％以上的成膜面的AT切型石英振子构成。上述成膜面的切割水平50％的载荷长度比率(tp)优选为97％以上，上述成膜面的表面粗糙度(Ra)优选为0.25μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
一种膜厚传感器，其具有AT切型石英振子，所述石英振子具有成膜面，所述成膜面的表面粗糙度(Ra)为0.4μm以下、并且切割水平50％的载荷长度比率(tp)为95％以上。
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