[发明专利]一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统及方法在审
申请号: | 201710828346.4 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107481952A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 孙朋超;莫品光;刘杰鹏;朱家宽;高锦龙;钟华良;蒋沈泽 | 申请(专利权)人: | 旭科新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01N21/88 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司33101 | 代理人: | 翁霁明 |
地址: | 314031 浙江省嘉兴市秀洲*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统及方法,所述的系统包括送料装置、检测装置、标记装置,其中送料装置用于输运定位待检测太阳能电池激光划刻线样品;检测装置用于抓取捕获并处理待检测太阳能电池激光划刻线样品;一用于采集待检测太阳能电池激光划刻线样品图像的图像采集单元;一用于图像采集时补充亮度、提高图像清晰度及识别精度的照明单元;图像处理单元将获取的扫描图像进行拼接并进行预处理,去除杂散光或其他杂点的影响;一数据处理单元通过数字图像处理技术比较已经完成图像处理的P1/P2/P3线的图像,计算出每条线的位置信息,与数据库对比,判断3条线的趋势;一数据输出单元用于根据数据处理单元给出的数据输出检测结果。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 激光 划刻线 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池激光划刻线的缺陷检测系统,所述的缺陷检测系统包括:送料装置、检测装置、标记装置,其特征在于:所述的送料装置用于输运定位待检测太阳能电池激光划刻线样品;包含输送单元和定位单元,所述的输送单元用于输运和卸载待检测太阳能电池激光划刻线样品;所述的定位单元用于跟踪定位待检测太阳能电池激光划刻线样品的位置;所述的检测装置用于抓取捕获并处理待检测太阳能电池激光划刻线样品;包括:一用于固定待检测太阳能电池激光划刻线样品、减少抖动造成的识别误差的固定单元;一用于采集待检测太阳能电池激光划刻线样品图像的图像采集单元;一用于图像采集时补充亮度、提高图像清晰度及识别精度的照明单元;所述的图像处理单元将获取的扫描图像进行拼接并进行预处理,去除杂散光或其他杂点的影响;一数据处理单元通过数字图像处理技术比较已经完成图像处理的P1/P2/P3线的图像,计算出每条线的位置信息,与数据库对比,判断3条线的趋势;一数据输出单元用于根据数据处理单元给出的数据输出检测结果;所述的标记装置用于根据所述处理结果在所述位置进行标记;它包含有打标单元,且打标单元与检测装置固定在一起。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造