[发明专利]基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法在审
| 申请号： | 201710820290.8 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107644131A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 贡顶;沈忱;崔绍春;陈雪莲;鄢丽萍 | 申请（专利权）人： | 苏州珂晶达电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法，其包括以下步骤1)获取成像系统的光学参数；2)采用极坐标采样方法获得空间域上采样点的坐标(ri,θj)；3)通过非均匀傅里叶逆变换计算采样点对应的光源互强度函数及光瞳函数4)计算采样点对应空间域的交叉传递函数值并建立采样矩阵5)在空间域上建立一组正交基函数计算正交基函数在相应极坐标采样位置上的函数值并建立矩阵Q＝[q1,q2,…qk]；6)对矩阵Q进行QR矩阵分解7)计算投影矩阵并对投影矩阵P进行奇异值分解得到P＝UU*；8)获得空间域上交叉传递函数的核函数为本发明能够快速解析获得TCC核函数，使得光强分布计算快速而高效，从而满足实际的光刻工艺设计需求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 坐标 采样 交叉 传递函数 快速 分解 方法 | ||
【主权项】：
一种基于极坐标采样的交叉传递函数快速分解方法，其特征在于：其包括以下步骤，步骤S101：获取成像系统的光源函数J(f,g)及光瞳函数P(f,g)；步骤S102：在有效区域内，采用极坐标采样方法，获得空间域上若干采样点的坐标(ri,θj)；步骤S103：通过非均匀傅里叶逆变换计算所有所述采样点对应的光源互强度函数及光瞳函数步骤S104：计算所述采样点对应空间域的交叉传递函数值并建立采样矩阵步骤S105：在空间域上建立一组正交基函数计算所述正交基函数在相应极坐标采样位置上的函数值并建立矩阵Q＝[q1,q2,…qk]，其中k为选择的正交基函数的个数，列向量ql的每一个元素qlk对应一个采样点的函数值CBn,s(rk,θk)；步骤S106：对所述矩阵Q进行QR矩阵分解步骤S107：计算投影矩阵并对投影矩阵P进行奇异值分解得到P＝UU*；步骤S108：获得空间域上交叉传递函数的核函数为其中uij为矩阵U中对应的元素。
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