[发明专利]基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法

摘要

本发明公开了一种基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法，先将金刚线硅片浸入到AgNO3、HF、HNO3的混合液中反应，表面形成许多内部含银颗粒的纳米级腐蚀坑，然后浸入到硝酸溶液中反应，再浸入到HF、HNO3的混合液中反应，使纳米级腐蚀坑扩大为亚微米级腐蚀坑，最后进行碱洗和酸洗。本发明制备方法能有效去除金刚线硅片表面的切割线痕，得到形貌均一的亚微米绒面；简易的一步法，成本较低，工艺稳定，重复性好，无需使用添加剂，适用于工业大规模量产；通过改变工艺温度和药液配比，可以调节绒面尺寸、反射率以及外观均一性，通过配合不同的太阳能电池后续扩散和镀膜工艺，可获得良好的钝化效果，从而获得较高的电池转化效率。

主权项

一种基于链式制绒设备的金刚线硅片纳微绒面制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一：将金刚线硅片浸入到AgNO3、HF、HNO3的混合液中反应，同时进行银颗粒沉积和HF‑HNO3酸腐蚀体系的表面织构化，去除金刚线切割痕，表面形成许多内部含银颗粒的纳米级腐蚀坑；步骤二：将步骤一得到的金刚线硅片浸入到硝酸溶液中反应，去除银颗粒并用去离子水进行清洗；步骤三：将步骤二得到的金刚线硅片浸入到HF、HNO3的混合液中反应，使步骤一中的纳米级腐蚀坑扩大为亚微米级腐蚀坑；步骤四：将步骤三得到的金刚线硅片进行碱洗和酸洗，去除表面的多孔硅和其它杂质，并清洗烘干。