[发明专利]抛光垫修整器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710796671.7 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109454557B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 陈盈同 | 申请（专利权）人： | 咏巨科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 武玉琴;冷文燕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种抛光垫修整器及其制造方法。抛光垫修整器的制造方法至少包括：提供一复合底座，复合底座包括基座以及至少一层缓冲焊料层，其中，在提供复合底座的步骤中至少包括一加热固化处理，以形成缓冲焊料层以及基座。在形成研磨部于复合底座的步骤之前，先执行平整化步骤，以在复合底座的其中一侧形成平坦表面。研磨部会形成于平坦表面上。如此，可克服因基座热变形，致使研磨部的多个的尖端之间的高度落差过大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 修整 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫修整器，其特征在于，所述抛光垫修整器包括：一复合底座，所述复合底座包括一基座以及形成于所述基座上的缓冲焊料层，其中，所述基座的至少一表面为曲面，且所述缓冲焊料层覆盖所述曲面；以及一研磨部，设置于所述复合底座上，其中，所述研磨部包括一结合层以及多个分散设置于所述结合层中的研磨颗粒，其中，所述多个研磨颗粒分别具有凸出所述结合层的一研磨表面的多个切削尖端；其中，所述缓冲焊料层所对应的固相线温度大于所述结合层所对应的液相线温度。
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