[发明专利]抛光垫修整器及其制造方法

权利要求书

1.一种抛光垫修整器，其特征在于，所述抛光垫修整器包括：

一复合底座，所述复合底座包括一基座以及形成于所述基座上的缓冲焊料层，其中，所述基座的至少一表面为曲面，且所述缓冲焊料层覆盖所述曲面；以及

一研磨部，设置于所述复合底座上，其中，所述研磨部包括一结合层以及多个分散设置于所述结合层中的研磨颗粒，其中，每一所述研磨颗粒具有凸出所述结合层的一研磨表面的一切削尖端；

其中，所述缓冲焊料层所对应的固相线温度大于所述结合层所对应的液相线温度。

2.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述研磨部设置于所述曲面上，且所述缓冲焊料层位于所述结合层与所述曲面之间。

3.如请求项2所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述基座还包括另一曲面，且另一所述曲面和所述研磨部分别位于所述基座的两相反侧。

4.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述抛光垫修整器还进一步包括另一缓冲焊料层，所述缓冲焊料层与另一所述缓冲焊料层分别位于所述基座的两相反侧。

5.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述曲面为一上弧面或一下弧面，且所述缓冲焊料层的厚度配合所述曲面的轮廓，由所述缓冲焊料层的外围朝向中央渐增或渐减。

6.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述缓冲焊料层所对应的液相线温度高于所述结合层所对应的液相线温度至少100℃。

7.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述研磨部与所述缓冲焊料层分别位于所述基座的两相反侧，且所述曲面位于所述基座的底部，且所述缓冲焊料层的表面为曲面或平面。

8.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述基座的材料为铁、钼、钨、不锈钢、因瓦合金或者镍基超合金。

9.如请求项1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述缓冲焊料层的厚度介于25至500μm之间，且所述结合层的厚度介于25至300μm之间。

10.一种抛光垫修整器的制造方法，其特征在于，所述抛光垫修整器的制造方法包括：

提供一复合底座，所述复合底座包括一基座以及形成于所述基座上的缓冲焊料层，其中，所述基座具有至少一曲面，且所述缓冲焊料层覆盖所述曲面；

对所述复合底座执行一平整化步骤，以在所述复合底座的其中至少一侧形成一平坦表面；

形成一研磨部于所述平坦表面上，其中，所述研磨部包括一结合层以及多个分散设置于所述结合层中的研磨颗粒，且每一所述研磨颗粒具有凸出所述结合层的一研磨表面的一切削尖端。

11.如请求项10所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于，在提供所述复合底座的步骤中，包括：

形成一缓冲焊料于一初始基座上；以及

执行一加热固化处理，以使所述缓冲焊料熔融并固化形成所述缓冲焊料层，其中，所述初始基座在执行所述加热固化处理后变形而形成所述基座。

12.如请求项11所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于，所述缓冲焊料为一焊片，且在形成所述缓冲焊料于所述初始基座的步骤中，是通过点焊或胶料将所述焊片固定于所述初始基座上。

13.如请求项11所述的抛光垫修整器的制造方法，其特征在于，形成所述研磨部于所述基座上的步骤至少包括：

形成一结合焊料于所述平坦表面上；

设置多个所述研磨颗粒于所述基座上，其中，多个所述研磨颗粒通过所述结合焊料分散地设置于所述基座上；以及

执行一硬焊加热处理，以使所述结合焊料熔融及固化，以形成所述研磨部，且在执行所述加热硬焊处理的加热硬焊温度低于执行所述加热固化处理的加热固化温度。