[发明专利]光栅波前倾斜色散补偿装置有效
| 申请号： | 201710793558.3 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107727250B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 唐顺兴;朱宝强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00;G02B27/42;G02B27/44 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光栅波前倾斜色散补偿装置，该装置包括第一闪耀光栅、Offner光学系统和第二闪耀光栅或直角反射镜。本发明补偿了光栅角度色散效应引起的时间展宽和空间展宽，确保光束到达工作面上光束的时空色散为零。与传统的基于光栅波前倾斜获得技术相比，从根本上消除了光栅角色散效应对波前倾斜技术应用效果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 倾斜 色散 补偿 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光栅波前倾斜色散补偿装置，其特征在于，该装置包括第一闪耀光栅(1)、Offner光学系统和第二闪耀光栅(4)，所述的Offner光学系统由凹面反射镜(2)和凸面反射镜(3)构成，第二闪耀光栅(4)的光栅常数与第一闪耀光栅(1)的光栅常数相等，所述的凹面反射镜(2)的曲率半径是所述的凸面反射镜(3)的曲率半径的2倍，且所述的凹面反射镜(2)和所述的凸面反射镜(3)曲率中心重合于一点(200)；入射光(110)经所述的第一闪耀光栅(1)衍射后，第一闪耀光栅(1)输出的第一衍射光(120)入射到所述的凹面反射镜(2)，经该凹面反射镜(2)第一次反射后入射到所述的凸面反射镜(3)，经该凸面反射镜(3)第二次反射后再次经所述的凹面反射镜(2)的第三次反射光(130)到达第一闪耀光栅(1)，所述的第三次反射光(130)经第一闪耀光栅(1)衍射后形成的第二衍射光(140)沿所述的入射光(110)相反的方向出射到所述的第二闪耀光栅(4)，经第二闪耀光栅(4)衍射后形成第三衍射光(150)，沿第三衍射光(150)方向是工作面(5)，该工作面(5)与所述第二闪耀光栅(4)的光栅面平行；所述的入射光(110)射入至第一闪耀光栅(1)的入射角(401)与第二衍射光(140)射入至第二闪耀光栅(4)的入射角(402)相等；所述的工作面(5)与第二闪耀光栅(4)的垂直距离是第一闪耀光栅(1)与所述凸面反射镜(3)曲率中心点(200)之间的垂直距离的两倍。
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