[发明专利]光栅波前倾斜色散补偿装置有效
| 申请号： | 201710793558.3 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107727250B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 唐顺兴;朱宝强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00;G02B27/42;G02B27/44 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 倾斜 色散 补偿 装置 | ||
1.一种光栅波前倾斜色散补偿装置，其特征在于，该装置包括第一闪耀光栅(1)、Offner光学系统和第二闪耀光栅(4)，所述的Offner光学系统由凹面反射镜(2)和凸面反射镜(3)构成，第二闪耀光栅(4)的光栅常数与第一闪耀光栅(1)的光栅常数相等，所述的凹面反射镜(2)的曲率半径是所述的凸面反射镜(3)的曲率半径的2倍，且所述的凹面反射镜(2)和所述的凸面反射镜(3)曲率中心重合于一点(200)；入射光(110)经所述的第一闪耀光栅(1)衍射后，第一闪耀光栅(1)输出的第一衍射光(120)入射到所述的凹面反射镜(2)，经该凹面反射镜(2)第一次反射后入射到所述的凸面反射镜(3)，经该凸面反射镜(3)第二次反射后再次经所述的凹面反射镜(2)的第三次反射光(130)到达第一闪耀光栅(1)，所述的第三次反射光(130)经第一闪耀光栅(1)衍射后形成的第二衍射光(140)沿所述的入射光(110)相反的方向出射到所述的第二闪耀光栅(4)，经第二闪耀光栅(4)衍射后形成第三衍射光(150)，沿第三衍射光(150)方向是工作面(5)，该工作面(5)与所述第二闪耀光栅(4)的光栅面平行；所述的入射光(110)射入至第一闪耀光栅(1)的入射角(401)与第二衍射光(140)射入至第二闪耀光栅(4)的入射角(402)相等；所述的工作面(5)与第二闪耀光栅(4)的垂直距离是第一闪耀光栅(1)与所述凸面反射镜(3)曲率中心点(200)之间的垂直距离的两倍。
2.一种光栅波前倾斜色散补偿装置，其特征在于，该装置包括第一闪耀光栅(1)、Offner光学系统和直角反射镜(4’)，所述的Offner光学系统由凹面反射镜(2)和凸面反射镜(3)构成，所述的凹面反射镜(2)的曲率半径是所述的凸面反射镜(3)的曲率半径的2倍，且所述的凹面反射镜(2)和所述的凸面反射镜(3)曲率中心重合于一点(200)；入射光(110)经所述的第一闪耀光栅(1)衍射后，第一闪耀光栅(1)输出的第一衍射光(120)入射到所述的凹面反射镜(2)，经该凹面反射镜(2)第一次反射后入射到所述的凸面反射镜(3)，经该凸面反射镜(3)第二次反射后再次经所述的凹面反射镜(2)的第三次反射光(130)到达第一闪耀光栅(1)，所述的第三次反射光(130)经第一闪耀光栅(1)衍射后形成的第二衍射光(140)沿所述的入射光(110)相反的方向出射到所述的直角反射镜(4’)，经该直角反射镜(4’)反射后第三次传输到第一闪耀光栅(1)，第三次经第一闪耀光栅(1)衍射后形成第三衍射光(150)，沿第三衍射光(150)方向是工作面(5)，该工作面(5)与所述第一闪耀光栅(1)的光栅面平行；所述的入射光(110)射入至第一闪耀光栅(1)的入射角(401)与所述的第二衍射光(140)从所述的直角反射镜(4’)射入至第一闪耀光栅(1)的入射角(402)相等；所述的工作面(5)与第一闪耀光栅(1)的垂直距离是第一闪耀光栅与所述凸面反射镜(3)曲率中心点(200)之间的垂直距离的两倍。
3.根据权利要求1或2所述光栅波前倾斜色散补偿装置，其特征在于所述的凹面反射镜和凸面反射镜均为球面反射镜或者柱面反射镜。
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