[发明专利]一种在晶体硅表面制备绒面的方法有效
| 申请号： | 201710787640.5 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109427922B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 覃榆森;季静佳 | 申请（专利权）人： | 苏州易益新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215104 江苏省苏州市吴中经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在晶体硅片表面制备绒面的方法，该方法的特征是在晶体硅片表面生成一层化学转化膜（Chemical Conversion Coating），利用该化学转化膜在生长过程中的不均匀性和不连续性，对晶体硅片的局部表面实施化学腐蚀，达到在晶体硅片表面制备绒面的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 表面 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在晶体硅片表面实施化学溶液腐蚀制备绒面的方法，其特征在于，在化学溶液腐蚀晶体硅表面的化学腐蚀溶液中含有镧系元素，或者在晶体硅片表面含有镧系元素。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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