[发明专利]基板支撑件及配向膜预烘烤装置有效
| 申请号： | 201710787557.8 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN107505739B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 廖凯 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板支撑件及配向膜预烘烤装置。本发明的配向膜预烘烤装置包括支撑架、及安装于所述支撑架上用于对基板进行支撑的多个支撑针；所述支撑架内部设有流体通道，所述支撑架一端连接有流体输入管道，所述流体输入管道与流体通道连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架上的多个支撑针进行温度调节，本发明通过向支撑架内通入流体而对支撑针进行温度调节，从而在配向膜预烘烤制程中，不会因为支撑针温度过高，在基板与支撑针接触时造成支撑针所支撑位置处配向液提前固化而形成点状的膜面凸起，从而从源头上解决了Pin Mura的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种基板支撑件，其特征在于，包括支撑架(10)、及安装于所述支撑架(10)上用于对基板进行支撑的多个支撑针(20)；所述支撑架(10)内部设有流体通道(15)，所述支撑架(10)一端连接有流体输入管道(30)，所述流体输入管道(30)与流体通道(15)连通并向其内输入流体以对安装在所述支撑架(10)上的多个支撑针(20)进行温度调节。
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