[发明专利]一种PERC二次印刷多晶太阳能电池片的制备方法

摘要

本发明公开了一种PERC二次印刷多晶太阳能电池片的制备方法，它以多晶硅片为基材，依次通过制绒、扩散、刻蚀、退火、背钝化、镀减反射膜、背面激光开槽、印刷、烧结、降光衰步骤制得；所述退火步骤采用无氧退火，背钝化步骤是在硅片背面镀Al₂O₃和SiN_X，镀减反射膜步骤是在硅片正面镀SiN_X，正电极印刷采用丝网印刷机进行DP1和DP2的两次印刷，DP1印刷副栅线，DP2套印主栅线和副栅线，DP1印刷和DP2印刷使用的丝印网版为无网结丝印网版。本发明提供的一种PERC二次印刷多晶太阳能电池片的制备方法，可将电池片的LID可降低至1％附近，提高了组件成品的功率，转换效率高，品位和电性能都有明显的提升。

主权项

1.一种PERC二次印刷多晶太阳能电池片的制备方法，其特征在于：它以多晶硅片为基材，依次通过A.制绒，B.扩散，C.刻蚀，D.退火，E.背钝化，F.镀减反射膜，G.背面激光开槽，H.背电极、背电场、正电极印刷，I.烧结，J.降光衰步骤制得；所述D.退火步骤采用无氧退火，E.背钝化步骤是在硅片背面镀Al2O3和SiNX，F.镀减反射膜步骤是在硅片正面镀SiNX，H.背电极、背电场、正电极印刷步骤中正电极印刷采用丝网印刷机进行DP1和DP2的两次印刷，DP1印刷副栅线，DP2套印主栅线和副栅线，DP1印刷和DP2印刷使用的丝印网版为无网结丝印网版。