[发明专利]一种吸盘装置及吸盘转运保护装置及基底运输方法在审
| 申请号： | 201710776278.1 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109427642A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 梁湧;余斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种吸盘装置及吸盘转运保护装置及基底运输方法，所述吸盘装置包括吸盘、固定装置，所述吸盘通过固定装置可拆卸式安装在主机平台上，所述吸盘设置有真空吸附模块；所述吸盘转运保护装置包括保护模块和夹持模块；所述基底运输方法包括S1：所述保护模块运动至所述吸盘上方指定位置；S2：控制所述固定爪夹持所述吸盘；S3：所述固定装置打开，所述吸盘与所述主机平台分离；S4：移动所述吸盘及其所固持的基底至下一工艺处。使用本发明提供的吸盘装置及吸盘转运保护装置及基底运输方法，有效解决基底直接从吸盘上取下时易损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 基底 保护装置 吸盘装置 转运 固定装置 保护模块 主机平台 运输 真空吸附模块 夹持模块 可拆卸式 吸盘设置 有效解决 固定爪 固持 夹持 取下 移动 | ||
【主权项】：
1.一种吸盘装置，其特征在于，包括吸盘、固定装置，所述吸盘通过固定装置可拆卸式安装在主机平台上，所述吸盘设置有真空吸附模块。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
