[发明专利]一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装

摘要

本发明涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置以及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。该浮动连接装置包括上盖和水平吊装于上盖下方的加热板，加热板的横截面尺寸小于上盖的横截面尺寸，其特征在于，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；该维护工装包括工装本体、固定模块和升降模块；固定模块设于工装本体顶部；升降模块包括底座和升降杆，底座设于固定模块顶部，升降杆可升降地设于底座内。该浮动连接装置使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。该维护工装结构简单，便于浮动连接装置的拆装，且移动便利，节省了人工转移维护工装的成本。

主权项

一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，其特征在于，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。