[发明专利]一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。

背景技术

现有的镀膜设备中，工艺腔室的上盖与加热板为直接接触连接，在镀膜加热时加热板的热膨胀变形会影响到上盖，严重时会造成上盖的变形或损伤。

现有技术通常利用维护用工装结构将工艺腔室的上盖与加热板进行拆装，为便于上盖与加热板之间的拆装，现有的维护用工装结构大多是一个整体的平台，装夹好工件后，拆卸内部的小零件；又或者是固定顶部吊装部件，从下面升起一个支撑的机构，从而实现所述上盖与加热板的相对固定、支撑，然后进行拆装。前一种方案不便于拆装，后一种方案工装本身结构复杂，操作繁琐，不便于工装的整体移动。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题之一是提供一种浮动连接装置，其可使工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖。

本发明要解决的另一技术问题是提供一种结构简单、便于拆装该浮动连接装置的维护工装。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；

所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。

进一步地，所述垫板的顶面与所述第一台阶面的顶端相接触，所述垫板的底面与所述螺母的顶面相接触。

进一步地，所述浮动连接结构均匀分布于所述加热板的侧面；

和/或，所述加热板为方形，所述加热板的四个侧面各通过一个所述浮动连接结构与上盖相连接；

和/或，所述过渡连接件与所述加热板的侧面相连接的方式为一体成型、固定连接或可拆卸地连接。

优选的，所述卡孔为U型。

本发明还提供了一种便于拆装上述浮动连接装置的维护工装，所述维护工装包括：

工装本体；

固定模块，所述固定模块设于所述工装本体顶部，所述固定模块至少有两个，且相对设于工装本体顶部的两侧，所述固定模块设有用于支撑所述加热板的第一支撑面；

升降模块，所述升降模块包括底座和升降杆，所述底座设于所述固定模块顶部，所述升降杆可升降地设于所述底座内，所述升降杆顶端设有用于支撑所述上盖的第二支撑面。

优选的，所述加热板的横截面面积与工装本体的顶部面积相适应，以使拆装浮动连接装置时，第一支撑面能够支撑加热板，第二支撑面能够支撑上盖。

进一步地，所述固定模块包括固定块和固定螺钉，所述固定块底端设于所述工装本体顶部，所述固定块顶端设有用于安装所述底座的凹槽，所述固定块底端边缘水平向外延伸成所述第一支撑面；所述固定螺钉在拆装浮动连接装置时，水平穿过所述固定块至加热板内，以将所述加热板的一侧固定于所述固定块上。

进一步地，所述固定模块包括多个固定螺钉。

进一步地，所述固定模块还包括限位销，所述固定块的侧面构造有用于对所述限位销进行导向的斜面，所述限位销在拆装浮动连接装置之前插入所述加热板侧面，并在拆装所述浮动连接装置时沿着所述斜面将加热板的一侧放入所述第一支撑面上。

进一步地，所述固定模块包括两个所述限位销，相应的，所述固定块相对的两个侧面各构造有一个与所述限位销相适应的斜面。

进一步地，所述固定模块还包括固定块螺钉，所述固定块螺钉用于将所述固定块固定于工装本体顶部。

进一步地，所述底座和升降杆之间为螺纹连接。

优选的，所述升降模块还包括手柄，所述手柄水平插入所述升降杆开设的通孔里，人手握住所述手柄以便于升降杆的转动，进而调节升降杆的高度。

进一步地，所述升降模块还包括球头、球头座和球头盖，所述球头设于所述升降杆的顶端，所述球头盖和球头座分别从上下两个方向抱住所述球头，所述球头盖表面形成所述第二支撑面。