[发明专利]电工钢表面涂层的分析方法

摘要

本发明公开了一种电工钢表面涂层的分析方法，属于分析方法技术领域。它包括如下步骤：1)电工钢表面涂层试样的预处理；2)调整涂层试样表面至电子束和离子束的共聚焦点；3)对涂层试样表面进行金属沉积；4)采用离子束对涂层试样的前后两个区域分别进行挖坑处理；5)对挖坑处理后的涂层试样进行U型切割、提取及焊接；6)减薄和抛光。本发明的分析方法采用聚焦离子束进行精确定位制备出电工钢表面涂层的透射电镜样品，再结合常规透射电镜分析电工钢表面涂层的微观形貌，解决了现有技术分析电工钢表面涂层微观形貌的问题。

主权项

一种电工钢表面涂层的分析方法，该分析方法为采用聚焦离子束进行精确定位并制备出电工钢表面涂层的透射电镜样品，再在透射电镜下观察电工钢表面涂层的微观形貌，其特征在于：它包括如下步骤：1)电工钢表面涂层试样的预处理；2)调整涂层试样表面至电子束和离子束的共聚焦点；3)对涂层试样表面进行气体沉积；4)采用离子束对涂层试样的前后两个区域分别进行挖坑处理；5)对挖坑处理后的涂层试样进行U型切割、提取及焊接；6)减薄和抛光；7)采用透射电镜观察；所述步骤5)包括如下步骤：51)控制电子束与试样表面垂直，调节涂层试样表面在电子束和离子束的共聚焦点，对挖坑处理后的涂层试样进行U型切割，并保留涂层试样的一边与基体相连；52)采用离子束将纳米机械手的尖端与U型切割后的涂层试样焊接在一起；53)继续切割涂层试样使其与基体分离，使用纳米机械手将切割完的涂层试样取出，得到透射电镜样品的粗产品；54)调整透射电镜专用铜网的焊接部位使其置于电子束和离子束同步观察中心，调节纳米机械手的尖端使其靠近铜网的焊接部位，采用离子束将透射电镜样品的粗产品与铜网焊接在一起；55)采用离子束将纳米机械手的尖端与透射电镜样品的粗产品分离。