[发明专利]曝光机有效
| 申请号： | 201710758280.6 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107367909B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 许俊安;林明文;王维;江敏成;熊定;杨进森 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝光机，曝光腔室外设有包围光源灯室和照明系镜组的透明防护罩，为所述光源灯室和照明系镜组提供了一隔离外部环境即洁净室内空气的空间，且所述透明防护罩与第一气体输送管道连接并相通，所述第一气体输送管道向所述透明防护罩内输送气体从而对所述光源灯室和照明系镜组进行冷却处理，能够避免现有技术直接抽取洁净室内空气对光源灯室和照明系镜组进行冷却而造成曝光腔室外镜片雾化的问题，使所述光源灯室和照明系镜组的镜片可以得到保护，进而可节省售价非常昂贵的高压汞灯或镜片，有效降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种曝光机，其特征在于，包括曝光腔室(190)、以及设置于所述曝光腔室(190)外的光源灯室(110)、照明系镜组(120)、及透明防护罩(180)；所述透明防护罩(180)包围所述光源灯室(110)和照明系镜组(120)，为所述光源灯室(110)和照明系镜组(120)提供一隔离外部环境的空间；所述透明防护罩(180)与第一气体输送管道(170)连接并相通，所述第一气体输送管道(170)向所述透明防护罩(180)内输送气体从而对所述光源灯室(110)和照明系镜组(120)进行冷却处理；所述透明防护罩(180)的材料为防静电材料且不含有硅元素。
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