[发明专利]磁力传动大面积蒸发镀膜机在审
| 申请号： | 201710741048.1 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107299323A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 施戈;田琳;彭建 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 102200 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室，真空腔室内设置蒸发源，所述真空腔室侧壁上设有磁力传动装置，所述磁力传动装置包括传动滑块、外滑动导轨、外磁铁、内滑动导轨、内磁铁、基片台，所述外磁铁、内磁铁磁性相反，所述传动滑块、外滑动导轨、外磁铁均位于所述真空腔室外，所述外磁铁固定于所述传动滑块上，所述传动滑块可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨滑动，所述内滑动导轨、内磁铁、基片台均位于所述真空腔室内，所述基片台固定于所述内磁铁上，所述内磁铁可在所述外磁铁的作用下在所述内滑动导轨上滑动。本发明磁力传动大面积蒸发镀膜机，设备稳定性大大提高，维护成本降低，并且大面积样件镀膜更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力 传动 大面积 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室(11)，真空腔室(11)内设置蒸发源(19)，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上设有磁力传动装置(12)，所述磁力传动装置(12)包括传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)、内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)，所述外磁铁(125)、内磁铁(126)磁性相反，所述传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)均位于所述真空腔室(11)外，所述外磁铁(125)固定于所述传动滑块(123)上，所述传动滑块(123)可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨(124)滑动，所述内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)均位于所述真空腔室(11)内，所述基片台(127)固定于所述内磁铁(126)上，所述内磁铁(126)可在所述外磁铁(125)的作用下在所述内滑动导轨(120)上滑动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京泰科诺科技有限公司，未经北京泰科诺科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710741048.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
