[发明专利]磁力传动大面积蒸发镀膜机

权利要求书

1.一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室(11)，真空腔室(11)内设置蒸发源(19)，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上设有磁力传动装置(12)，所述磁力传动装置(12)包括传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)、内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)，所述外磁铁(125)、内磁铁(126)磁性相反，所述传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)均位于所述真空腔室(11)外，所述外磁铁(125)固定于所述传动滑块(123)上，所述传动滑块(123)可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨(124)滑动，所述内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)均位于所述真空腔室(11)内，所述基片台(127)固定于所述内磁铁(126)上，所述内磁铁(126)可在所述外磁铁(125)的作用下在所述内滑动导轨(120)上滑动。

2.根据权利要求1所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：所述推动装置包括传动丝杠(121)、旋转电机(122)，所述真空腔室(11)侧壁上设置有安装支架(13)，所述传动丝杠(121)一端通过轴承设置于所述安装支架(13)上，所述旋转电机(122)安装于所述真空腔室(11)侧壁上带动传动丝杠(121)旋转，所述传动滑块(123)螺纹连接于所述传动丝杠(121)上。

3.根据权利要求2所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：还包括抽真空系统(14)，所述抽真空系统(14)位于所述真空腔室(11)外并且和所述真空腔室(11)内腔连通。

4.根据权利要求3所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：还包括充气装置(15)，所述充气装置(15)位于所述真空腔室(11)外并且和所述真空腔室(11)内腔联通。

5.根据权利要求4所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：还包括膜厚检测装置(16)，所述膜厚检测装置(16)设置于所述真空腔室(11)内。

6.根据权利要求5所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上开有观察窗(17)。

7.根据权利要求6所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上设有照明装置(18)。