[发明专利]一种硅片生产用检测装置

摘要

本发明公开了一种硅片生产用检测装置，包括立柱、支撑板、抬升气缸和转换平台，所述立柱设置在不合格品传输带和合格品传输带的下方，检测平台下方的所述立柱之间安装有所述支撑板，所述支撑板上安装有所述抬升气缸，所述抬升气缸与所述转换平台连接，所述检测平台的上方设置有支架，所述支架的一侧安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸与推板连接，所述支架上安装有相机固定架，所述相机固定架与照相机连接，所述支架的上方一侧安装有微机处理器，所述合格品传输带的一侧安装有控制箱和电动机。该硅片生产用检测装置利用相机拍照，将照片传输至微机处理器进行信息比对，判定所生产的硅片是否合格，检测结果更加精准，监测效率高。

主权项

一种硅片生产用检测装置，其特征在于：包括立柱（1）、支撑板（2）、抬升气缸（3）和转换平台（4），所述立柱（1）设置在不合格品传输带（12）和合格品传输带（14）的下方，检测平台（5）下方的所述立柱（1）之间安装有所述支撑板（2），所述支撑板（2）上安装有所述抬升气缸（3），所述抬升气缸（3）与所述转换平台（4）连接，所述检测平台（5）的上方设置有支架（11），所述支架（11）的一侧安装有伸缩气缸（6），所述伸缩气缸（6）与推板（7）连接，所述支架（11）上安装有相机固定架（8），所述相机固定架（8）与照相机（9）连接，所述支架（11）的上方一侧安装有微机处理器（10），所述合格品传输带（14）的一侧安装有控制箱（13）和电动机（15），所述控制箱（13）内设置有控制电路板（16）和电器元件（17）。