[发明专利]周缘部处理装置及周缘部处理方法

摘要

本发明提供一种周缘部处理装置及周缘部处理方法。由旋转夹具保持基板，来使该基板旋转。从喷出部向由旋转夹具旋转的基板喷出处理液。喷出部具有沿着一方向排列的多个喷出口，能够从多个喷出口分别选择性地喷出处理液。在喷出部的多个喷出口的排列横穿由旋转夹具旋转的基板的周缘部、且与周缘部相向的状态下，向周缘部的内缘到外侧供给处理液。不向比基板的周缘部的内缘更靠内的内侧供给处理液。

主权项

一种周缘部处理装置，对具有至少一部分为圆形的外周部的基板的一面的、沿着所述外周部的环状的周缘部进行处理，其中，所述周缘部处理装置具备：旋转保持部，保持基板并使该基板旋转；喷出部，具有沿着一方向排列的多个喷出口，能够从所述多个喷出口分别选择性地喷出处理液；以及，喷出控制部，在所述喷出部的所述多个喷出口的排列横穿由所述旋转保持部旋转的基板的所述周缘部、且与所述周缘部相向的状态下，控制从所述喷出部的所述多个喷出口喷出处理液，使得不向比所述周缘部的内缘更靠内的内侧供给处理液，而向所述周缘部的内缘到外侧供给处理液。