[发明专利]一种用于在带/线材上连续化生长二维材料的卷对卷装置及其控制方法有效

专利信息
申请号: 201710729069.1 申请日: 2017-08-23
公开(公告)号: CN107557761B 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 王钰;顾伟 申请(专利权)人: 中国科学院过程工程研究所
主分类号: C23C16/54 分类号: C23C16/54;C23C16/52;C23C14/56;C23C14/54;C23C14/35;C23C28/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种用于在带/线材上连续化生长二维材料的卷对卷装置,所述卷对卷装置包括:第一卷绕辊、第二卷绕辊;且通过第一卷绕辊和第二卷绕辊的转动使得带/线材能够在两个卷绕辊之间转移;监测单元,用于监测处于第一卷绕辊和第二卷绕辊之间的带/线材的状态参数;控制单元,用于根据监测单元检测到的状态参数,控制第一卷绕辊和/或第二卷绕辊的转速。本发明通过监测带/线材在传送过程中的状态参数——速度和张力,设定带/线材稳定转移的状态参数,从而实现均匀持续沉积二维材料的目的。
搜索关键词: 一种 用于 线材 连续 化生 二维 材料 装置 及其 控制 方法
【主权项】:
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