[发明专利]一种基于等离子体浸没注入技术制备黑磷二维材料的方法

摘要

本发明提供一种基于等离子体浸没注入技术制备黑磷二维材料的方法，利用等离子体浸没注入系统产生的氢等离子对黑磷晶体材料产生刻蚀作用，从而获取到层数可控的黑磷二维材料；然后再利用乙炔等离子体对黑磷二维材料进行沉积/掺杂处理，提高了黑磷二维材料在常温、空气环境下的稳定性；该方法不仅提高了黑磷二维材料的整体质量，同时也简化制备的工艺，实现从黑磷晶体到稳定黑磷二维材料的一体化制备流程。

主权项

1.一种基于等离子体浸没注入技术制备黑磷二维材料的方法，其特征在于，包括以下步骤：通过等离子体浸没注入技术，采用等离子体对黑磷晶体材料进行刻蚀反应，得到层数可控的黑磷二维材料，所述等离子体为氢等离子体或惰性气体等离子体；其中，还包括以下步骤，通过等离子体浸没注入技术对所述黑磷二维材料进行碳元素的沉积或注入；所述碳元素的沉积或注入是乙炔或甲烷通过等离子体发生装置产生乙炔等离子体或甲烷等离子体，作用于黑磷二维材料，使碳元素沉积在黑磷二维材料表面和/或碳元素掺在黑磷二维材料中。