[发明专利]多层反射镜有效
| 申请号： | 201710699731.3 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107402417B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | A·亚库宁;V·班尼恩;E·鲁普斯特拉;H·范德斯库特;L·史蒂文斯;M·范卡朋 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G03F1/24;G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层反射镜，所述多层反射镜包括作为最外层的石墨烯。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 反射 | ||
【主权项】：
一种多层反射镜，包括作为最外层的石墨烯。
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