[发明专利]隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置

摘要

一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。

主权项

一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，包括：键合基板、支撑框架、驱动质量块、检测质量块、中心质量块、驱动组合梁、检测组合梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、驱动导线、驱动反馈导线等组成，在键合基板上部设置一凹槽，凹槽上部左、右两侧设置驱动磁体，前、后两侧隧道磁阻元件，支撑框架设置在键合基板上方，在支撑框架前、后、左、右部设置座槽，驱动质量块设置在支撑框架左、右部，通过驱动组合梁与支撑框架连接，检测质量块设置在支撑框架前、后部，通过检测组合梁与支撑框架连接，中心质量块设置在支撑框架中间位置，通过驱动组合梁连接检测质量块，通过检测组合梁连接驱动质量块。