[发明专利]压电式集成MOEMS扫描光栅微镜

摘要

本发明公开一种压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，涉及光谱分析和微光机电系统领域，由集成扫描光栅微镜、扭转梁、连接梁、角传感器、压电微驱动器和固定框架组成。所提出的集成扫描光栅微镜是基于偏晶向(111)硅基，在正面集成了闪耀光栅，在背面掏蚀了凹槽，提高了衍射效率和器件稳健性。为了在低驱动电压下实现大角度扫描，本发明采用了压电微驱动器并利用连接梁对驱动位移进行放大。为了对集成扫描光栅微镜运动状态实时监测，在连接梁上一体化集成了压电角传感器。本发明结构新颖简单，集成工艺兼容，可显著提高扫描光栅微镜的衍射效率、分辨率、稳健性和集成度，并改善扫描光栅微镜的驱动与角传感性能。

主权项

压电式集成MOEMS扫描光栅微镜，包括：一固定边框(7)，该固定边框呈矩形，其特征在于，四个压电微驱动器(5)为矩形板状结构，并对称设置在所述固定边框的上边和下边内侧，固定在上边的两个压电微驱动器与固定在下边的两个压电微驱动器分别通过一连接梁(4)连接；一集成扫描光栅微镜(2)为长方体结构，其左边和右边的中部分别与扭转梁(3)的一端连接，所述两根扭转梁的另一端分别与一连接梁(4)的中部连接；实现集成扫描光栅微镜(2)悬置在固定边框(7)的中部，且能够绕扭转梁(3)的扭转轴做谐振转动；所述固定边框(7)、集成扫描光栅微镜(2)、扭转梁(3)、压电微驱动器(5)和连接梁(4)通过MEMS加工一体集成于偏晶向(111)硅基片上构成。