[发明专利]一种窄带宽可调滤波器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种窄带宽可调滤波器及其制备方法，包括衬底以及位于衬底表面的透射腔和直流偏置线；透射腔包括SQUID链，透射腔用于过滤掉输入的信号中与自身共振频率不同的频率波段，输出信号中与共振频率相同的频率波段；直流偏置线用于向SQUID链提供磁场；其中，透射腔的共振频率由SQUID链的总电容和总电感决定；SQUID链的总电感随磁场大小的变化而变化，磁场的大小随直流偏置线中电流大小的变化而变化，从而可以通过调节直流偏置线的电流大小来调节透射腔的工作频率，进而可以调节滤波器的工作带宽，实现对大幅变频信号的处理；并且，由于透射腔包括SQUID链，而SQUID是一种超导量子干涉仪结构，因此，可以实现滤波器的窄带宽滤波。

主权项

1.一种窄带宽可调谐滤波器，其特征在于，包括衬底以及位于所述衬底表面的透射腔和直流偏置线；所述透射腔包括SQUID链，所述透射腔用于过滤掉输入的信号中与自身共振频率不同的频率波段，输出所述信号中与所述共振频率相同的频率波段；所述直流偏置线用于向所述SQUID链提供磁场；其中，所述透射腔的共振频率由所述SQUID链的总电容和总电感决定；所述SQUID链的总电感随所述磁场大小的变化而变化，所述磁场的大小随所述直流偏置线中电流大小的变化而变化；所述SQUID链包括多个串联的SQUID结构；所述SQUID结构包括两个并联的约瑟夫森结；所述约瑟夫森结包括沿垂直于所述衬底的方向依次位于所述衬底表面的第一超导层、绝缘层和第二超导层；所述直流偏置线包括长条状的电极条，所述电极条与所述SQUID链平行设置；所述衬底表面除所述透射腔和所述直流偏置线之外的区域具有金属层；所述透射腔与其周围的所述金属层构成共面波导结构；所述直流偏置线与其周围的所述金属层也构成共面波导结构。