[发明专利]用于制造液体喷射头的方法有效
| 申请号： | 201710682892.1 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107718882B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 鱼桥邦仁;永田真吾;藤井谦儿;山室纯;笹木弘司;松本圭司;柳沼诚一郎;村上遼太郎;中野智彦;永井正隆 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张劲松<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。 | ||
| 搜索关键词： | 感光树脂层 负型 活化能量线 液体喷射头 显影 照射 图案 喷射端口 曝光 热固化 基板 流路 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括具有能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件、喷射端口形成部件，所述喷射端口形成部件包括具有喷射端口的喷射端口表面，所述喷射端口利用来自所述能量产生元件的能量喷射从所述流路供给的液体，所述制造液体喷射头的方法包括：/n在基板上设置负型的第一感光树脂层；/n通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；/n在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；/n在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；/n通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；/n使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；/n在显影之后在所述第二和第三感光树脂层中的至少一个上照射活化能量线；以及/n在活化能量线的照射之后或者与活化能量线的照射同时地热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。/n
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