[发明专利]用于制造液体喷射头的方法

权利要求书

1.一种用于制造液体喷射头的方法，所述液体喷射头包括具有能量产生元件的基板、形成流路的流路形成部件、喷射端口形成部件，所述喷射端口形成部件包括具有喷射端口的喷射端口表面，所述喷射端口利用来自所述能量产生元件的能量喷射从所述流路供给的液体，所述制造液体喷射头的方法包括：

在基板上设置负型的第一感光树脂层；

通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；

在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；

在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；

通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；

使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；

在显影之后在所述第二和第三感光树脂层中的至少一个上照射活化能量线；以及

在活化能量线的照射之后或者与活化能量线的照射同时地热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

2.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述喷射端口表面是平坦表面。

3.根据权利要求2所述的制造液体喷射头的方法，其中，

通过活化能量线的照射，所述第二感光树脂层与第三感光树脂层的热固化收缩率之间的差异减小。

4.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述喷射端口表面包括平坦表面和喷射端口的开口边缘部分，所述开口边缘部分在所述喷射端口形成部件的厚度方向上从所述平坦表面凹陷。

5.根据权利要求4所述的制造液体喷射头的方法，其中，

通过活化能量线的照射，使得所述第三感光树脂层的热固化收缩率小于所述第二感光树脂层的热固化收缩率。

6.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述喷射端口表面包括平坦表面和喷射端口的开口边缘部分，所述开口边缘部分在所述喷射端口形成部件的厚度方向上从所述平坦表面突起。

7.根据权利要求6所述的制造液体喷射头的方法，其中，

通过活化能量线的照射，使得所述第三感光树脂层的热固化收缩率大于所述第二感光树脂层的热固化收缩率。

8.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

活化能量线的照射之前的所述第三感光树脂层的热固化收缩率小于活化能量线的照射之前的所述第二感光树脂层的热固化收缩率。

9.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

在所述第三感光树脂层的整个表面上照射活化能量线。

10.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述第二和第三感光树脂层彼此接触。

11.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述第一感光树脂层的曝光灵敏度低于所述第二和第三感光树脂层的曝光灵敏度。

12.根据权利要求1所述的制造液体喷射头的方法，其中，

所述第三感光树脂层的固化物具有防水性。