[发明专利]用于制造液体喷射头的方法

说明书

本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

技术领域

本公开涉及制造液体喷射头的方法。

背景技术

喷射液体的液体喷射头的代表性示例包括应用到通过在记录介质上喷射墨水来执行记录的喷墨记录系统的墨水喷射头。一般地，墨水喷射头包括用于喷射墨水的喷射端口、与喷射端口连通的液体室和流路以及施加用于通过喷射端口喷射墨水的能量的能量产生元件。

通过驱动能量产生元件，墨水喷射头通过喷射端口将墨水作为液滴喷射以执行打印。因此，喷射端口的尺寸和形状对墨水喷射性能具有影响。近年来，墨水喷射头正在变得微细化，并且能够喷射5pl或更少墨水的高清喷射端口以及其中流路的高度被减小并且喷射端口的长度被缩短的薄喷射端口形成部件被使用。

近年来，流路和喷射端口的制造过程正在变得多样化。例如，制造过程包括在在流路形成部件中形成流路之后将其中形成喷射端口的板部件粘附到流路形成部件的方法、以及在在由正型材料形成的流路模子上涂布负型(negative)材料并且在负型材料中形成喷射端口之后去除由正型材料形成的流路模子的方法。

日本专利公开No.4-216951公开了用于通过在形成流路的第一感光树脂层与形成喷射端口的第二感光树脂之间创建对曝光的灵敏度(sensitivity)的差异、并且通过执行曝光和显影来制造记录头的流路和喷射端口的方法。在这种制造方法中，在在基板上设置用于形成流路的第一感光树脂层之后执行曝光以便形成流路的图案的潜像。在在第一感光树脂层上设置用于形成喷射端口形成部件的第二感光树脂层之后执行曝光以便形成喷射端口的图案的潜像。两个感光树脂层具有对曝光的灵敏度的差异，并且特征在于，在曝光剂量曝光感光树脂层中的一个的同时，曝光剂量不曝光另一个感光树脂层。因此，即使当两个感光树脂层未被显影时，也可以形成感光树脂层的图案中的每一个。在形成潜像之后，感光树脂层被显影，并且流路和喷射端口被利用期望的流路形成部件和喷射端口形成部件成形。

在日本专利公开No.4-216951中描述的方法中，随着流路形成部件和喷射端口形成部件的薄化进行，部件的强度降低，并且存在在部件的制造过程期间出现部件的变形的情况。作为增加部件的强度的方法，可以设想通过使用热固性材料形成部件并对其施加热处理来增加部件的硬度。然而，如日本专利公开No.4-216951中所描述的，在通过层压具有不同曝光灵敏度的两种类型的感光聚合物形成流路形成部件和喷射端口形成部件的情况下，当其硬度增加时，热固化期间的收缩率之间的差异可能变大。当热固化期间的部件的收缩率之间的差异变大时，可能在部件中的至少一个中出现变形，并且基板可能变得翘曲。

抑制这种变形和翘曲出现的方法可以包括匹配具有不同曝光灵敏度的感光树脂层的热固化期间的收缩率；然而，难以制备具有不同的和期望的诸如感光性的特性并且具有类似的热固化收缩率的感光聚合物。

并且，当在负型感光聚合物中形成喷射端口的图案时，喷射端口形成部件的强度因曝光剂量的增加而增加。然而，用于形成流路形成部件的感光树脂层的曝光灵敏度需要减小，并且需要改变用于形成流路形成部件的感光聚合物材料。此外，由于当形成喷射端口的图案时所需要的曝光剂量增加，因此触感增加。

并且，在正型材料和负型材料两者中，可以通过向用于形成喷射端口的感光树脂层添加热固性粘合剂树脂来增加强度；然而，取决于粘合剂树脂的添加量，存在分辨率降低的情况，使得难以执行微加工。