[发明专利]接合体制造装置、MEMS元件和液体喷射头的制造方法

摘要

本发明提供一种能够在通过粘合剂进行接合之际可靠地检测出粘合剂的涂覆不均从而将粘合不良防范于未然的接合体的制造方法、MEMS元件的制造方法、液体喷射头的制造方法、以及接合体的制造装置。在由多个结构体通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法中，包括将粘合剂层形成在介质的一面上的粘合剂层形成工序；对在粘合剂层形成工序中所形成的粘合剂层的粘度进行调节的粘度调节工序；将在粘度调节工序中被调节了粘度的粘合剂层转印到结构体上的转印工序，在转印工序之前的阶段中，实施对转印薄膜上的粘合剂层的表面粗糙度进行测定的表面粗糙度测定工序。

主权项

一种接合体的制造方法，其特征在于，为多个结构体在被层压的状态下通过粘合剂而相互接合成的接合体的制造方法，所述接合体的制造方法包括：将粘合剂层形成在介质的一面上的粘合剂层形成工序；对在所述粘合剂层形成工序中所形成的所述粘合剂层的粘度进行调节的粘度调节工序；将在所述粘度调节工序中被调节了粘度的所述粘合剂层转印到所述结构体上的转印工序，在所述转印工序之前的阶段中，实施对所述介质上的所述粘合剂层的表面粗糙度进行测定的表面粗糙度测定工序。