[发明专利]硅片线切割机

摘要

本发明公开了一种硅片线切割机，包括框架、切割室、线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置。本发明优化导向轮排布结构，线筒安装方式为卧式安装，卧式安装排线负荷均匀，导轮数量减少，导线轮个数减少先增大钢线的破断张力，使进入线网的张力波动变小；线筒跳动小，排线更加稳定，张力臂运行时摆臂稳定。本发明有效监测断线，减少断线造成的线网拉空等损失。

主权项

一种硅片线切割机，其特征在于，包括框架、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮Ⅲ、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连接座的另一侧设有配重块，与连接座相连接固定支架下面设有导向轮支撑座，与导向轮支撑座相连接安装有收放线导向轮Ⅲ，所述传感器位于导向轮支撑座与收放线导向轮Ⅲ相对，所述收放线导向轮Ⅲ与传感器之间通过连接轴相连；所述张力臂电机位于线筒室主板后方，两个所述张力臂导向轮分别位于两个收放线导向轮Ⅲ右侧，所述张力臂上设有张力臂传感器，所述张力臂上部外面设有张力臂盒11；所述收放线轮工装设有收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ高于收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ的位置分别与右侧的收放线导向轮Ⅲ、张力臂导向轮的位置相应；切割线依次通过上方收放线轮、上方收放线导向轮、上方张力臂导向轮收放线导向轮Ⅰ进入切割室，切割线通过收放线导向轮Ⅱ、下方张力臂导向轮、下方收放线导向轮、下方收放线轮由切割室引出。