[发明专利]一种脆性透明材料激光加工装置及加工方法

摘要

本发明提出一种脆性透明材料激光加工装置及加工方法，通过扩束单元调整激光束直径；通过空间滤波器过滤掉激光束的杂光；通过光束整形器和聚焦单元的组合配合，使激光束的能量分布均匀。各种作业的相互配合，使激光束消除了加工脆性材料时的各种影响；并且加工时激光一次性打穿，形成一系列微米级小孔，通过连续的小孔来完成整体图形的加工，对脆性材料的伤害减小。

主权项

一种脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，包括工作台、自动对焦系统、聚焦单元、反射单元、定位CCD、光束整形器、空间滤波器、扩束单元、激光器和控制系统；其中，所述控制系统控制所述激光器发射激光束；所述激光束依次通过所述扩束单元、空间滤波器、光束整形器、反射单元及聚焦单元照射于所述工作台表面的工件上；所述聚焦单元安置于所述自动对焦系统上；所述定位CCD对工件上待加工图形的位置进行识别定位，所述控制系统根据所述定位CCD识别定位信号控制所述工作台在水平面上进行移动。