[发明专利]一种脆性透明材料激光加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，包括工作台、自动对焦系统、聚焦单元、反射单元、定位CCD、光束整形器、空间滤波器、扩束单元、激光器和控制系统；其中，所述控制系统控制所述激光器发射激光束；所述激光束依次通过所述扩束单元、空间滤波器、光束整形器、反射单元及聚焦单元照射于所述工作台表面的工件上；所述聚焦单元安置于所述自动对焦系统上；所述定位CCD对工件上待加工图形的位置进行识别定位，所述控制系统根据所述定位CCD识别定位信号控制所述工作台在水平面上进行移动。

2.根据权利要求1所述的脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，所述聚焦单元为非球面聚焦镜。

3.根据权利要求1所述的脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，所述扩束单元为可变倍率扩束镜。

4.根据权利要求1所述的脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，所述工作台安装在一导轨上。

5.一种脆性透明材料的激光加工方法，采用如权利要求1～4中任一项所述的脆性透明材料激光加工装置，其特征在于，所述工艺包括：

步骤1：控制系统控制自动对焦系统进行工件厚度的识别，并控制聚焦单元移动至焦点位置；

步骤2：所述控制系统控制激光器发射激光束，使所述激光束依次通过扩束单元、空间滤波器、光束整形器、反射单元及聚焦单元照射于所述工作台表面的工件上，对所述工件进行加工；

步骤3：定位CCD对工件上加工图形的位置进行识别定位；所述控制系统根据所述定位CCD识别定位信号控制所述工作台在水平面上进行实时跟踪调整，以完成对工件的加工。