[发明专利]PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法有效
| 申请号： | 201710656432.1 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107262173B | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 陈跃东 | 申请（专利权）人： | 广东顺德工业设计研究院（广东顺德创新设计研究院） |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PDMS微流控芯片及基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法。该基于湿法刻蚀制备PDMS微流控芯片的方法包括以下步骤：制备阴模基片，所述阴模基片的表面具有第一微通道；将含有硅氯键的硅烷试剂修饰于PDMS板的表面；将所述PDMS板衍生化处理的表面与所述阴模基片具有第一微通道的表面相贴合；将刻蚀试剂加入到所述第一微通道中，用于对所述PDMS板衍生化处理的表面进行湿法刻蚀，以形成具有第二微通道的PDMS板，所述第二微通道的外轮廓形状与所述第一微通道的外轮廓形状相同；将所述具有第二微通道的PDMS板从所述阴模基片的表面剥离，即得PDMS微流控芯片。该制备方法操作简便且能够制备具有较小深度尺寸微通道的PDMS微流控芯片。 | ||
| 搜索关键词： | pdms 微流控 芯片 基于 湿法 刻蚀 制备 方法 | ||
【主权项】：
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