[发明专利]扫描探针标定方法有效
| 申请号： | 201710641861.1 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107300629B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 郝镇齐;徐穆清;江嵩;程子嘉;王亚愚 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 孙岩 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扫描探针标定方法，用于对扫描隧道显微镜的扫描探针进行标定。所述方法包括：通过所述扫描探针获取标定样品的形貌图；通过数据分类模块对所述形貌图进行标准化判断；若所述数据分类模块判断所述形貌图合格，则通过所述扫描探针获取所述标定样品的能谱图；通过所述数据分类模块对所述能谱图进行标准化判断；若所述数据分类模块判断所述能谱图合格，则所述扫描探针标定合格。上述方法，能够快速、高精度的检测扫描探针是否合格，实现探针标定。所述探针标定方法，采用数据分类模块分析判断扫描探针是否合格，减少了扫描探针标定过程的耗费时间长、标定难度大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 标定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针标定方法，用于对扫描隧道显微镜的扫描探针进行标定，其特征在于，包括以下步骤：通过所述扫描探针获取标定样品的形貌图；通过数据分类模块对所述形貌图进行标准化判断；若所述数据分类模块判断所述形貌图合格，则通过所述扫描探针获取所述标定样品的能谱图；通过所述数据分类模块对所述能谱图进行标准化判断；以及若所述数据分类模块判断所述能谱图合格，则所述扫描探针标定合格；其中，所述数据分类模块通过支持向量机的机器学习方法获得；通过支持向量机的机器学习方法获得所述数据分类模块的方法，具体包括：选择多组待学习的图像信息；从所述图像信息中提取特征信息，针对不同的特征信息建立不同的分类规则，所述分类规则的建立过程为对所述图像信息进行坐标变换；通过在所述不同的分类规则之间设置不同的权重比，以形成所述数据分类模块。
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