[发明专利]一种透明导电玻璃及其制备方法和应用

摘要

本申请公开了一种透明导电玻璃及其制备方法和应用。本申请的透明导电玻璃，包括无定形衬底和附着在无定形衬底上的透明导电薄膜，其中，透明导电薄膜为锐钛矿相(004)取向的金属掺杂二氧化钛薄膜。本申请的透明导电玻璃，率先在无定形衬底上形成了晶粒生长方向排布一致的锐钛矿相(004)取向的金属掺杂二氧化钛薄膜，大大提高了透明导电玻璃的导电性能。并且，本申请的透明导电玻璃，制备方法简单、易操作、成本低，适用于大面积生产；本申请的制备方法所制备的金属掺杂二氧化钛薄膜中锐钛矿相(004)取向程度可调控，可以满足不同的使用需求。

主权项

1.一种透明导电玻璃的制备方法，其特征在于：所述透明导电玻璃包括无定形衬底和附着在无定形衬底上的透明导电薄膜，所述透明导电薄膜为锐钛矿相(004)取向的金属掺杂二氧化钛薄膜；所述制备方法包括，采用磁控溅射技术，溅射功率为0.5‑3.0W/cm²，以1‑60度的倾斜角在无定形衬底表面进行溅射，在无定形衬底表面形成薄膜，然后进行退火处理使薄膜结晶，得到锐钛矿相(004)取向的二氧化钛薄膜，即形成所述透明导电玻璃；所述倾斜角是指溅射离子束流偏离垂直离子束流的角度。