[发明专利]一种用于ALD工艺的气体传输装置及其进气方法

摘要

本发明公开了一种用于ALD工艺的气体传输装置，在传输前驱体A的过程中，携带气体通过所述携带流量计A和三通脉冲阀A进入储存器A，并携带前驱体A经过供应管路A进入ALD反应腔室，携带气体通过所述携带流量计B、三通脉冲阀B、旁路B和供应管路B进入ALD反应腔室，在传输前驱体B的过程中，携带气体通过所述携带流量计B和三通脉冲阀B进入储存器B，并携带前驱体B经过供应管路B进入ALD反应腔室，携带气体通过所述携带流量计A、三通脉冲阀A、旁路A和供应管路A进入ALD反应腔室。本发明公开的一种用于ALD工艺的气体传输装置及其进气方法，具有前驱体利用率高、充分扩散、腔室气体总流量波动小，气流平稳的优良特性。

主权项

1.一种用于ALD工艺的气体传输装置，包括主进气单元和副进气单元，所述主进气单元用于传输前驱体A，副进气单元用于传输前驱体B，其特征在于，所述主进气单元包括携带气体源A、储存器A以及和储存器A并联的旁路A，所述副进气单元包括携带气体源B、储存器B以及和储存器B并联的旁路B；在传输前驱体A的过程中，携带气体源A中的携带气体A进入储存器A，并携带前驱体A进入ALD反应腔室，同时，携带气体源B中的携带气体B通过旁路B进入ALD反应腔室；在传输前驱体B的过程中，携带气体B进入储存器B，并携带前驱体B进入ALD反应腔室，同时，携带气体A通过旁路A进入ALD反应腔室。