[发明专利]基板热干燥设备

摘要

本发明提供了一种基板热干燥设备，包括壳体，在壳体的相对两侧分别设有一进口和一出口，所述壳体内设有输送基板的输送机构，输送机构的两端穿过进口以及出口，在壳体内设有支架，所述支架上位于传送机构的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机驱动转动的滚筒，滚筒的轴线与输送机构的输送方向垂直并且与输送机构的表面平行，滚筒的转动方向与输送机构的输送方向相反；所述滚筒内缠绕有用于加热的发热元件，所述发热元件与设于滚筒上的电热控制器连接，所述滚筒与输送机构之间设有间隙，在壳体上还设有排气管。与现有技术相比，从而降低发尘和异物的产生，避免对基板造成影响。

主权项

一种基板热干燥设备，其特征在于：包括壳体(7)，在壳体(7)的相对两侧分别设有一进口(71)和一出口(72)，所述壳体(7)内设有输送基板的输送机构(1)，输送机构(1)的两端穿过进口(71)以及出口(72)，在壳体(7)内设有支架(8)，所述支架(8)上位于传送机构(1)的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机(4)驱动转动的滚筒(2)，滚筒(2)的轴线与输送机构(1)的输送方向垂直并且与输送机构(1)的表面平行，滚筒(2)的转动方向与输送机构(1)的输送方向相反；所述滚筒(2)内缠绕有用于加热的发热元件(3)，所述发热元件(3)与设于滚筒(2)上的电热控制器(6)连接，所述滚筒(2)与输送机构(1)之间设有间隙(5)，在壳体(7)上还设有排气管(18)。