[发明专利]基板热干燥设备

权利要求书

1.一种基板热干燥设备，其特征在于：包括壳体(7)，在壳体(7)的相对两侧分别设有一进口(71)和一出口(72)，所述壳体(7)内设有输送基板的输送机构(1)，输送机构(1)的两端穿过进口(71)以及出口(72)，在壳体(7)内设有支架(8)，所述支架(8)上位于传送机构(1)的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机(4)驱动转动的滚筒(2)，滚筒(2)的轴线与输送机构(1)的输送方向垂直并且与输送机构(1)的表面平行，滚筒(2)的转动方向与输送机构(1)的输送方向相反；所述滚筒(2)内缠绕有用于加热的发热元件(3)，所述发热元件(3)与设于滚筒(2)上的电热控制器(6)连接，所述滚筒(2)与输送机构(1)之间设有间隙(5)，在壳体(7)上还设有排气管(18)。

2.根据权利要求1所述的基板热干燥设备，其特征在于：两个滚筒(2)上设有可沿传送机构(1)的两侧表面垂直移动的调节机构，所述调节机构用于调节间隙(5)。

3.根据权利要求2所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述调节机构包括一对导轨(9)、第一步进电机(10)、第二步进电机(11)以及齿条(12)，所述导轨(9)分别设于支架(8)上与滚筒(2)两端相对的一侧上，导轨(9)与滚筒(2)的轴线垂直，第一步进电机(10)、第二步进电机(11)设置在与其中一侧导轨(9)位置相对应处，第一步进电机(10)和第二步进电机(11)设置在相同的一侧上，齿条(12)设置在支架(8)上与第一步进电机(10)、第二步进电机(11)相邻的导轨(9)旁，齿条(12)与导轨(9)平行，所述导轨(9)分别具有两个滑块，其中一个滑块与其中一个滚筒(2)连接固定，另一个滑块与另一个滚筒(2)连接固定，所述第一步进电机(10)固定在其中一个滚筒(2)上，第二步进电机(11)固定在另一个滚筒(2)上，所述第一步进电机(10)、第二步进电机(11)的输出轴上设有与齿条(12)啮合的齿轮(13)。

4.根据权利要求3所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述支架(8)上设有调节系统，所述调节系统包括分别与第一步进电机(10)以及第二步进电机(11)连接的控制器(14)、以及与控制器(14)连接的显示屏(15)，所述控制器(14)用于控制第一步进电机(10)以及第二步进电机(11)的移动距离，显示屏(15)用于显示移动距离。

5.根据权利要求2所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述调节机构包括分别用于驱动滚筒(2)的直线电机(16)及至少一根导轨(9)，所述直线电机(16)分别设于支架(8)上与滚筒(2)两端相对的其中一侧上，导轨(9)设于支架(8)上与滚筒(2)两端相对的另一侧上，导轨(9)上具有两个滑块，直线电机(16)以及导轨(9)均与滚筒(2)的轴线垂直，其中一个滚筒(2)的一端固定于其中一个直线电机(16)的动子座上，另一端固定在导轨(9)的其中一个滑块上；另一个滚筒(2)的一端固定于另一个直线电机(16)的动子座上，另一端固定在导轨(9)的另一个滑块上。

6.根据权利要求5所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述支架(8)上设有调节系统，所述调节系统包括与直线电机(16)连接的伺服驱动器(17)以及与伺服驱动器(17)连接的显示屏(15)，伺服驱动器(17)控制直线电机(16)转子的移动距离，显示屏(15)用于显示移动距离。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述发热元件(3)以螺旋缠绕的方式缠绕在滚筒(2)内。

8.根据权利要求7所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述发热元件(3)为电热丝。

9.根据权利要求8所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述电热丝由镍铬材料制成。