[发明专利]基板热干燥设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种显示面板技术，特别是涉及一种基板热干燥设备。

背景技术

现阶段用于湿法工艺(Wet)的设备(例如清洗剂和显影机)作为LCD(液晶显示面板)/LTPS(低温多晶硅技术)的彩膜工艺制程中重要的制程设备，无论是能够满足生产中要求的特性值(CD)接近设计的水准，还是对产品品质(异物、Mura(波纹)等)的提升，是每个液晶面板工厂必争环节。

目前无论是清洗机还是显影机这类设备，大体的设备结构都已经定型，而且从成本角度出发，大多数细小的缺陷不会被作为采购中的指标，或者在实际生产中才能实践出其真的问题点。

在CF(彩色滤光片)工艺中，其工艺生产中使用的主要设备为清洗机和显影机。而一般在清洗或显影后都会利用光照或热风进行液体的去除干燥，然后进过热干燥装置，进行二次干燥，其中清洗机和显影机的热干燥装置有两种，一种是利用红外灯关进行干燥，均一性好，但是由于利用的是面干燥，发尘较严重，对基板或制成造成二次瑕疵(defect)；另一种是通过风刀吹热风进行干燥，利用的是线干燥，发尘较轻，但是由于利用的是加热的压缩干燥空气(CDA)，对加热装置和压缩干燥空气来源要求高压缩干燥空气和管路的洁净度对基板和制成存在较大的风险。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种基板热干燥设备，降低发尘和异物的产生，避免对基板的表面造成影响。

本发明提供了一种基板热干燥设备，包括壳体，在壳体的相对两侧分别设有一进口和一出口，所述壳体内设有输送基板的输送机构，输送机构的两端穿过进口以及出口，在壳体内设有支架，所述支架上位于传送机构的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机驱动转动的滚筒，滚筒的轴线与输送机构的输送方向垂直并且与输送机构的表面平行，滚筒的转动方向与输送机构的输送方向相反；所述滚筒内缠绕有用于加热的发热元件，所述发热元件与设于滚筒上的电热控制器连接，所述滚筒与输送机构之间设有间隙，在壳体上还设有排气管。

进一步地，两个滚筒上设有可沿传送机构的两侧表面垂直移动的调节机构，所述调节机构用于调节间隙。

进一步地，所述调节机构包括一对导轨、第一步进电机、第二步进电机以及齿条，所述导轨分别设于支架上与滚筒两端相对的一侧上，导轨与滚筒的轴线垂直，第一步进电机、第二步进电机设置在与其中一侧导轨位置相对应处，第一步进电机和第二步进电机设置在相同的一侧上，齿条设置在支架上与第一步进电机、第二步进电机相邻的导轨旁，齿条与导轨平行，所述导轨分别具有两个滑块，其中一个滑块与其中一个滚筒连接固定，另一个滑块与另一个滚筒连接固定，所述第一步进电机固定在其中一个滚筒上，第二步进电机固定在另一个滚筒上，所述第一步进电机、第二步进电机的输出轴上设有与齿条啮合的齿轮。

进一步地，所述支架上设有调节系统，所述调节系统包括分别与第一步进电机以及第二步进电机连接的控制器、以及与控制器连接的显示屏，所述控制器用于控制第一步进电机以及第二步进电机的移动距离，显示屏用于显示移动距离。

进一步地，所述调节机构包括分别用于驱动滚筒的直线电机及至少一根导轨，所述直线电机分别设于支架上与滚筒两端相对的其中一侧上，导轨设于支架上与滚筒两端相对的另一侧上，导轨上具有两个滑块，直线电机以及导轨均与滚筒的轴线垂直，其中一个滚筒的一端固定于其中一个直线电机的动子座上，另一端固定在导轨的其中一个滑块上；另一个滚筒的一端固定于另一个直线电机的动子座上，另一端固定在导轨的另一个滑块上。

进一步地，所述支架上设有调节系统，所述调节系统包括与直线电机连接的伺服驱动器以及与伺服驱动器连接的显示屏，伺服驱动器控制直线电机转子的移动距离，显示屏用于显示移动距离。

进一步地，所述发热元件以螺旋缠绕的方式缠绕在滚筒内。

进一步地，所述发热元件为电热丝。

进一步地，所述电热丝由镍铬材料制成。

本发明与现有技术相比，通过在输送机构的上下两侧设置具有发热元件的滚筒，由于其为线性的干燥方式，不会产生风以及不与基板直接接触，从而降低发尘和异物的产生，避免对基板造成影响。

附图说明

图1是本发明基板热干燥设备的内部结构示意图；

图2是本发明的第一种升降机构的结构示意图；

图3是本发明的第二种升降机构的结构示意图；

图4是本发明滚筒的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。