[发明专利]一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板

摘要

本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板。薄膜晶体管的制造方法包括：在形成半导体层后，在半导体层的一侧形成第一绝缘层、第二绝缘层和位于第一绝缘层和第二绝缘层之间的栅极层，再在第二绝缘层远离基板的一侧形成第一金属层，并在垂直与基板的方向行形成贯穿第一绝缘层、第二绝缘层和第一金属层的第一过孔和第二过孔，第一过孔和第二过孔在基板上的正投影位于栅极层的两侧，在本发明实施例中，由于在垂直于基板的方向上，栅极层被部分第一金属层覆盖，因此该部分第一金属层能够阻止清洗液和第二绝缘层接触，使得第二绝缘层上不会形成孔洞，进而避免第一金属层和第二金属层与栅极层短接的现象，从而提高了薄膜晶体管的良率。

主权项

一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：提供一基板；在所述基板上形成半导体层；在所述半导体层远离所述基板的一侧形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层远离所述基板的一侧形成栅极层；在所述栅极层远离所述基板的一侧形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层远离所述基板的一侧形成第一金属层；在垂直于所述基板的方向上形成贯穿所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第一金属层的第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔在所述基板上的正投影分别位于所述栅极层的两侧；在所述第一金属层远离所述基板的一侧形成第二金属层，其中，所述第二金属层分别通过所述第一过孔和所述第二过孔与所述半导体层连接，以及所述第一金属层通过所述第二金属层与所述半导体层连接。