[发明专利]光纤阵列线路发生器有效
| 申请号： | 201710626101.3 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN107442929B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;阿伦·缪尔·亨特;西奥多·P·莫菲特;迪瓦卡尔·N·科德拉雅 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/064;B23K26/073;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此所描述的具体实施方式涉及基板的快速热处理。光纤耦合激光二极管阵列设置于光学系统中，所述光学系统经配置以在基板表面上产生均匀辐照图案。多个单独可控的激光二极管经由多个光纤而与一个或多个透镜光学耦接。所述光纤耦合激光二极管阵列产生高斯辐射分布，所述高斯辐射分布经透镜散焦而产生均匀强度图像。在一个具体实施方式中，场光阑设置于所述光学系统内。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 阵列 线路 发生器 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理设备，包括：/n多个光纤耦合激光二极管；/n第一透镜，所述第一透镜靠近所述光纤耦合激光二极管的远端设置；/n圆柱微透镜阵列，所述圆柱微透镜阵列靠近所述第一透镜设置，以用于散焦从所述光纤的所述远端传播出的光；/n第二透镜，所述第二透镜靠近所述圆柱微透镜阵列设置；/n场光阑，所述场光阑靠近所述第二透镜设置；及/n第三透镜，所述第三透镜靠近所述场光阑设置，其中所述第二透镜将经散焦的所述光成像到所述场光阑上并且所述第三透镜将由所述场光阑布置的经散焦的所述光再产生于工作表面上。/n
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