[发明专利]一种自动换靶的反应电子束蒸发仪的应用方法

摘要

本发明公开了一种自动换靶的反应电子束蒸发仪的应用方法，包括以下步骤：1)由控制单元控制控制第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵启动，先由第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵分别对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行初抽真空；2)控制单元控制第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵启动，分别继续对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行抽真空，直到真空达到10^‑5Pa，3)当需要镀膜时，由控制单元将模式切换为自动，然后启动电子枪，待电子枪稳定后，待用；4)设置蒸镀薄膜的参数，将基片放在基底架上，并将基底架放置在第一料架上；5)由控制单元控制完成一个镀膜周期；6)循环操作上述步骤。

主权项

1.一种自动换靶的反应电子束蒸发设备，包括真空镀膜腔、进入腔和出口腔，所述进入腔与出口腔分别位于真空镀膜腔的两端，其特征在于，所述进入腔远离真空镀膜腔的一侧设有第一阀门，与真空镀膜腔相连接的一侧设第二阀门；所述出口腔与真空镀膜腔相连接的一侧设有第三阀门，远离真空镀膜腔的一侧设有第四阀门，所述真空镀膜腔设有第一分子泵、第一机械泵和第一气阀，所述进入腔与出口腔共同连接有第二分子泵和第二机械泵；所述进入腔设有第二气阀，所述出口腔设有第三气阀；所述真空镀膜腔内包括电子束枪、等离子发辉器和镀膜料架，所述电子束枪设置在真空镀膜腔外且枪头穿过真空镀膜腔进入真空镀膜腔内，所述镀膜料架位于所述真空镀膜腔的上部；所述进入腔设有第二料架，所述出口腔设有第三料架，所述进入腔外设有第一料架，所述出口腔外设有第四料架；所述第一料架、第二料架、第三料架、第四料架和真空膜料架均由多个料杆组成，所述料杆上设有驱动机构，料杆通过驱动机构沿轴心自转，所述真空膜料架的中心留有镀膜区域，该自动换靶的反应电子束蒸发设备还包括自动换靶装置，所述自动换靶装置包括升降机构、位于真空镀膜腔内的靶容器、备用靶材腔、第二真空泵和控制单元，所述靶容器置于等离子发辉器内，所述备用靶材腔设置在所述真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方，所述备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连接，且中间设有第五气阀以隔离或连通；所述升降机构贯穿所述备用靶材腔、真空镀膜腔与所述靶容器的底部相连接；所述升降机构用于在进行蒸镀工艺时将靶材实时根据靶材的消耗量向上移动和当消耗完一个靶材后将备用靶材腔中的靶材移动至真空镀膜腔内；所述备用靶材腔设有腔门，且所述备用靶材腔连接有第二真空泵和第四气阀；所述控制单元包括升降控制单元和真空控制单元；所述升降控制单元与所述升降机构相连接；所述真空控制单元与第三真空泵、第三机械泵和第四气阀相连接；/n该自动换靶的反应电子束蒸发仪的应用方法，包括以下步骤：/n1)检查并确认第一气阀、第二气阀、第三气阀和第四气阀关闭后，点击启动，则由控制单元控制控制第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵启动，先由第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵分别对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行初抽真空，直到真空度达到6Pa，第一机械泵、第二机械泵和第三机械泵停止；/n2)控制单元控制第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵启动，分别继续对真空镀膜腔、进入腔和出入腔以及备用靶材腔进行抽真空，直到真空达到10-5Pa，第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵停止；/n3)当需要镀膜时，由控制单元将模式切换为自动，然后启动电子枪，电子枪开始预热5min，电子枪电压电流开始逐渐上升，真空镀膜腔内开始起辉，电子枪发射电子束呈弧形至靶材上，观察电子束是否在在靶材的中心位置，待电子枪稳定后，待用；/n4)设置蒸镀薄膜的参数，将基片放在基底架上，并将基底架放置在第一料架上；/n5)由控制单元控制进入腔的第一气阀打开，充入空气，当进入腔的气压与大气相同时，打开第一阀门，然后基底架经由第一料架传输给第二料架送入进入腔，关闭第一阀门，控制单元控制第一机机械泵启动，给进入腔抽取真空，当进入腔的真空度达到5～6Pa时，第一机机械泵停止；打开第二阀门，基底架经由第二料架传输给真空膜料架进入真空镀膜腔，关闭第二阀门，电子枪开启，蒸镀开始，自动换靶装置实时根据靶材的消耗量将靶材向上推进；当蒸镀完成后，电子枪再次回到稳定状态；打开第三阀门，由真空膜料架将基底架送入第三料架，关闭第三阀门；打开第三气阀给出口腔通入空气，待出口腔的气压与大气相同时，打开第四阀门，由第三料架将基底架送入第四料架，关闭第四阀门，启动第一机械泵，给出口腔抽真空，待出口腔真空度达到5～6Pa时，第一机机械泵停止，从而完成一个镀膜周期；/n6)循环操作上述步骤。/n