[发明专利]一种聚焦离子束显微镜机台有效
| 申请号： | 201710608136.4 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN107437488B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李成 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台，其包括：电镜镜头、腔室以及交换仓；腔室的底部设置有观测台，在观测台上固定连接有支撑台，电镜镜头垂直贯穿腔室的顶部，且与支撑台正对；交换仓贯穿腔室的侧壁且固定在交换仓上，交换仓设置有开孔，且开孔正对支撑台；交换仓中设置有样品台、样品底座以及操纵杆，操纵杆与样品台之间卡扣连接，样品底座与样品台之间固定连接；样品底座上设置有第一凹槽，且第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形。本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台可以支持扫描电子显微镜的放样方式，可以直接当作扫描电子显微镜的机台使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 显微镜 机台 | ||
【主权项】：
1.一种聚焦离子束显微镜机台，其特征在于，包括：电镜镜头(1)、腔室(2)以及交换仓(3)；所述腔室(2)的底部设置有观测台(4)，在所述观测台(4)上固定连接有支撑台(5)，所述电镜镜头(1)垂直贯穿所述腔室(2)的顶部，且正对所述支撑台(5)；所述交换仓(3)贯穿所述腔室(2)的侧壁且固定在所述交换仓(3)上，所述交换仓(3)设置有开孔(10)，且所述开孔(10)正对所述支撑台(5)；所述交换仓(3)中设置有样品台(6)、样品底座(7)以及操纵杆(8)，所述操纵杆(8)与所述样品台(6)之间卡扣连接，所述样品底座(7)与所述样品台(6)之间固定连接；所述样品底座(7)上设置有第一凹槽，且所述第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形；当所述第一凹槽的横截面为倒梯形时，所述第一凹槽的侧边与上底边之间的夹角范围为35～90度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710608136.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
